産業技術総合研究所 研究シーズ|
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研究キーワード：産業技術総合研究所における「微細加工」 に関係する研究一覧：4件
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発表日：2025年7月31日
1
ガラスの機能を高めるナノ周期構造を高効率に形成
－データ駆動型レーザー加工によって欠損率の低いナノ構造を実現－
国立研究開発法人 産業技術総合研究所（以下「産総研」という）電子光基礎技術研究部門 奈良崎 愛子 総括研究主幹、高田 英行 主任研究員、吉富 大 主任研究員は、国立大学法人 東京農工大学（以下「農工大」という）大学院工学研究院 先端物理工学部門 宮地 悟代 教授、同大学院学生兼同研究所リサーチアシスタント 長井 大輔 氏（当時）、三善 武碩 氏と共同で、レーザー加工によりガラス表面にナノメートルサイズの周期構造（ナノ周期構造）を低欠損で形成するデータ駆動型レーザー加工技術を開発しました。ガラスの表面へナノ周期構造を形成することで、低反射表面などの効果を付与することができ、高機能なデ...
キーワード：アンテナ/データ駆動/パルス/表面状態/広帯域/磁場/数値計算/構造形成/ディスプレイ/液晶/レーザー照射/走査型電子顕微鏡/反射率/CMOS/ナノ構造体/レンズ/可視光/LED/メタマテリアル/光照射/発光ダイオード（LED）/光学特性/シミュレーション/ナノメートル/ナノ加工/ナノ構造/ピコ秒/フィードバック/フィードバック制御/フェムト秒/フェムト秒レーザー/モーター/モニタリング/レーザー/レーザー加工/ロボット/ロボット制御/温度制御/金属材料/自動車/精密加工/脆性破壊/電子顕微鏡/電磁波/微細加工/SEM/自動制御/イミン
他の関係分野：情報学数物系科学化学工学農学
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発表日：2025年7月31日
2
量子の世界で「冷やす」を測る
－量子回路中の光子吸収を量子ビットにより高速評価－
国立研究開発法人 産業技術総合研究所（以下「産総研」という）物理計測標準研究部門 中村 秀司 研究グループ付らと、東京理科大学 吉岡 輝昭 大学院生（研究当時）、蔡 兆申 教授らは、光子吸収を使った量子回路冷却の高速評価技術を開発しました。超伝導体と常伝導体を接合した素子は、極低温環境下に置かれた電気回路を光子の吸収を介して電気的に冷却できます。近年、この光子の吸収を利用して...
キーワード：誤り訂正/量子計算/超伝導体/閉じ込め/量子コンピュータ/量子情報/ノイズ/ヘリウム/ヘリウム3/安定同位体/同位体/スペクトル/磁場/数値計算/超伝導/量子ビット/磁性体/共振器/分光測定/電気抵抗/マイクロ/マイクロ波/極低温/時間依存性/周波数/電磁波/微細加工/量子力学/微細加工技術/光学顕微鏡
他の関係分野：情報学数物系科学総合理工工学総合生物
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発表日：2025年7月31日
3
水素発生と半導体応用を兼ね備えた二次元半導体ナノリボンを実現
－MoS2ナノリボンで高い触媒活性とトランジスタ動作を実証－
クリーンエネルギーの必要性から、水素への期待は高まり、効果的に水素を製造する方法が望まれています。電気化学的に水から水素を発生する方法では、白金が高い触媒活性を示すことが知られていますが、白金は希少金属で非常に高価であることが課題です。半導体性の二次元物質であるMoS2は安価で、高い触媒活性を示すことが知られていましたが、その活性サイト（反応が起こる場所）に関しては議論がありました。また、MoS2のナノシートは半導体材料としても優れており、微細化の限界に近付きつつあるシリコンデバイスに代わる次世代半導体として、近年大きな注目を集めています。...
キーワード：プロファイル/産学連携/セレン/地球温暖化/グラファイト/低次元/二次元物質/物質科学/自己組織/モリブデン/電子移動/エッチング/カルコゲナイド/電気分解/ACT/材料科学/活性サイト/原子分解能/走査型電子顕微鏡/走査透過型電子顕微鏡/CVD法/タングステン/遷移金属/電気化学反応/キャリア/クリーンエネルギー/トランジスタ/バンドギャップ/遷移金属ダイカルコゲナイド/低次元物質/電解液/二硫化モリブデン/半導体デバイス/半導体材料/微細化/分光測定/TMD/還元反応/半導体産業/量子ドット/STEM/ナノシート/原子配列/水素発生/単結晶/電池/燃料電池/CVD/シリコン/ナノスケール/移動度/極低温/自動車/電気化学/電子顕微鏡/導電性/半導体/微細加工/分解能/微細加工技術/SEM/マッピング/結晶性/温暖化/水素ガス
他の関係分野：情報学複合領域環境学数物系科学化学総合理工工学総合生物農学
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発表日：2025年7月31日
4
ダイヤモンド表面の個々の原子の可視化に成功
－ダイヤモンドデバイスを原子レベルで分析する道が開ける－
東京大学大学院新領域創成科学研究科の杉本宜昭教授らの研究グループは、東京大学物性研究所の尾崎泰助教授らの研究グループと産業技術総合研究所（以下、産総研）先進パワーエレクトロニクス研究センターの小倉政彦主任研究員らの研究グループと共同で、ダイヤモンド表面を原子レベルで観察する技術を開発しました。ダイヤモンドは究極の半導体として、パワーデバイスや量子デバイスの材料として注目されています。デバイスの製作過程において、微細加工技術で作製される微小なデバイスであるほど、原子レベルの欠陥がデバイス性能へ及ぼす影響が無視できなくなります。デバイスの性能を向上させるためには、ダイヤモンド表面を原子...
キーワード：スーパーコンピュータ/最適化/結晶格子/周期性/数値計算/プラズマCVD/超高真空/キャリア/パワーデバイス/量子デバイス/構造モデル/点欠陥/AFM/CVD/シリコン/トンネル/パワーエレクトロニクス/マイクロ/マイクロ波/移動度/化学分析/原子間力顕微鏡/第一原理/第一原理計算/導電性/熱伝導/熱伝導率/半導体/微細加工/分解能/密度汎関数理論/量子力学/微細加工技術/プローブ
他の関係分野：情報学数物系科学総合理工工学総合生物