産業技術総合研究所 研究ガラスの機能を高めるナノ周期構造を高効率に形成
－データ駆動型レーザー加工によって欠損率の低いナノ構造を実現－
【産学連携対象 全学共通分野 Discovery Saga】
【Sagaキーワード】
アンテナ/データ駆動/パルス/表面状態/広帯域/磁場/数値計算/構造形成/ディスプレイ/液晶/レーザー照射/走査型電子顕微鏡/反射率/CMOS/ナノ構造体/レンズ/可視光/LED/メタマテリアル/光照射/発光ダイオード（LED）/光学特性/シミュレーション/ナノメートル/ナノ加工/ナノ構造/ピコ秒/フィードバック/フィードバック制御/フェムト秒/フェムト秒レーザー/モーター/モニタリング/レーザー/レーザー加工/ロボット/ロボット制御/温度制御/金属材料/自動車/精密加工/脆性破壊/電子顕微鏡/電磁波/微細加工/SEM/自動制御/イミン
発表・掲載日：2025/03/24
ポイント
ガラス表面へのナノ加工時の欠損率を従来法と比べて約30分の1に低減光学シミュレーションによりナノ周期構造形成時のガラスの透過率が高くなる原因を解明
低反射などの機能を必要な部分に位置選択的に付与した光学部品製造に貢献
論文情報
掲載誌：Light: Advanced Manufacturing論文タイトル：Stable fabrication of femtosecond-laser-induced periodic nanostructures on glass by using real-time monitoring and active feedback control
著者：Godai Miyaji, Daisuke Nagai, Takemichi Miyoshi, Hideyuki Takada, Dai Yoshitomi, and Aiko Narazaki
DOI：10.37188/lam.2025.003