産業技術総合研究所 研究ダイヤモンド表面の個々の原子の可視化に成功
－ダイヤモンドデバイスを原子レベルで分析する道が開ける－
【産学連携対象 全学共通分野 Discovery Saga】
【Sagaキーワード】
スーパーコンピュータ/最適化/結晶格子/周期性/数値計算/プラズマCVD/超高真空/キャリア/パワーデバイス/量子デバイス/構造モデル/点欠陥/AFM/CVD/シリコン/トンネル/パワーエレクトロニクス/マイクロ/マイクロ波/移動度/化学分析/原子間力顕微鏡/第一原理/第一原理計算/導電性/熱伝導/熱伝導率/半導体/微細加工/分解能/密度汎関数理論/量子力学/微細加工技術/プローブ
発表・掲載日：2025/01/08
発表のポイント
究極のパワー半導体として期待されるダイヤモンド表面の個々の原子の可視化に成功し、可視化されるしくみを明らかにしました。ダイヤモンドの薄膜成長やデバイス性能に関わる原子レベルの欠陥が観察されました。
ダイヤモンド薄膜の成長機構の解明や、ダイヤモンドデバイスの性能向上に大きく貢献することが期待できます。
論文情報
雑誌名：Nano Letters 題名：Atomic observation on diamond (001) surfaces with near-contact atomic force microscopy 著者名：Runnan Zhang, Yuuki Yasui, Masahiro Fukuda, Taisuke Ozaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Yoshiaki Sugimoto* DOI: 10.1021/acs.nanolett.4c05395URL:https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.4c05395