【研究分野】生産工学・加工学

【研究領域課題番号】23360065 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

マイクロナノデバイス / 機械工作・生産工学 / 先端機能デバイス / ナノ材料 / 精密部品加工 / 自己組織化 / 光学特性 / マイクロ・ナノデバイス / 機械加工 / 超精密加工 / 光学機能 / マイクロアレイ / ナノインプリント / 薄膜モールド / ナノ・マイクロ加工 / ナノドット / 塑性加工 / ナノデバイス / 局在表面プラズモン共鳴 / インプリンティング / 薄膜

【研究成果の概要】

本研究は、数10nmレベルの金ナノドットアレイを製造するための低コストで効率的なプロセスを開発することを目的としている。本研究では以下の３つの成果を得た。本研究により、①超微細塑性加工法によるパターニングと焼鈍による自己組織化により直径10nmレベルの金ナノドットアレイを創出できることを示した。②パターニングにナノインプリント法を用いることにより効率的にナノドットアレイを作製できることを示した。③ナノドットアレイの光学的特性を評価し、工業的応用の可能性を示した。

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2011-04-01 - 2014-03-31

【配分額】19,240千円 (直接経費: 14,800千円、間接経費: 4,440千円)

【研究分野】原子力学

【研究領域課題番号】21686087 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

量子ビーム / ナノ粒子 / 金属還元 / アレイ電極 / プラズマ / ナノ加工 / 超低エネルギーEB / マイクロアレイ / ナノ材料

【研究成果の概要】

架橋体を含むパーフルオロ系高分子に対して、各種イオンビームにより、マイクロ～ナノサイズで制御された精密微細加工を行った。その後、グラフト重合により機能化し銀イオンを担持した試料を調製した。量子ビームにより固相中直接還元を行い、SEM-EDXやXPSで構造解析を行った結果、純銀ナノ粒子を確認できた。また、加工体を観察した結果、60. m角のアレイ状の電極を作製ができた。また、直接パターニングにより幅800nmの金属還元微細加工体の作製に成功した。

【研究種目】若手研究(A)

【研究期間】2009 - 2011

【配分額】26,910千円 (直接経費: 20,700千円、間接経費: 6,210千円)