デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
水酸化フラーレン / 加工機能性超微粒子 / ナノデジタルパターニング / 材料除去過程 / 分子加工原理 / 表面増強ラマン散乱法 / 加工現象計測・解析 / 超短パルスレーザー
【研究成果の概要】
本研究において独自に開発された,水酸化フラーレンによる銅薄膜のナノ研磨加工技術および光応用ナノ加工表面計測技術によって,分子レベルの加工現象解析を行った.それによって得られた化学的材料除去過程の知見に基づき,フラーレン単分子加工現象の化学反応過程を制御することにより,フラーレン1分子を加工機能性超微粒子として利用するナノデジタルパターニングの加工制御が実現できる可能性を見いだした.
【研究代表者】