[Discovery Saga Top]
[Saga Next]
[無料公開版Discovery Saga]
[Discovery Sagaプレミアムご案内]
[早稲田大学研究Discovery Saga]
[産学連携のご案内]
[Saga Concept]
[会社概要]
[お問い合わせ]
Dis
cov
er
y
Sa
ga
詳細表示
研究者リスト表示
ダウンロード(UTF-8 txt)
3次元計測Saga
3次元計測
に関するサイレントキーワード
不確かさ推定
が含まれる科研費採択研究1件
3次元計測
に関するサイレントキーワード
不確かさ推定
が含まれる科研費採択研究 1件
ナノ
三次元計測
における
不確かさ推定
手法の体系化
【研究分野】生産工学・加工学
【研究領域課題番号】
22246016 (KAKENデータベースで見る)
【研究キーワード】
ナノメートル計測 /
三次元計測
/
不確かさ推定
/ 形状測定
【研究成果の概要】
ナノスケールものづくりにおけるナノ
三次元計測
の不確かさ体系化のために,以下に示す4つの研究を行い,ナノメートル
三次元計測
における
不確かさ推定
手法の体系化を行った.
(1)ナノ
三次元計測
の不確かさの理論では,測定機の運動誤差から伝播により不確かさを推定するソフトウェアを開発し,その有効性を確認した.(2)光学的ナノ三次元形状計測では,角度センサを利用した非球面計測手法を開発し,その
不確かさ推定
を行った.(3)ナノ標準の開発では,Si格子をスケールとして利用する半導体構造の三次元形状測定を実施した.(4)光コムによるパルス干渉計では,パルス干渉計を構築し,三次元座標測定機の精度評価を行った.
【研究代表者】
高増 潔 東京大学 工学(系)研究科(研究院) 教授
(Kakenデータベース)
【研究分担者】
高橋 哲
東京大学
大学院工学系研究科
教授
(Kakenデータベース)
松本 弘一
東京大学
大学院工学系研究科
教授
(Kakenデータベース)
【研究連携者】
古谷 涼秋
東京電機大学
工学部
教授
(Kakenデータベース)
三隅 伊知子
独立行政法人産業技術総合研究所
計測標準研究部門
主任研究員
(Kakenデータベース)
佐藤 理
独立行政法人産業技術総合研究所
計測標準研究部門
研究員
(Kakenデータベース)
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2010-04-01 - 2015-03-31
【配分額】28,730千円 (直接経費: 22,100千円、間接経費: 6,630千円)