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収差補正電子顕微鏡の焦点位置スキャンによるナノ構造および原子の三次元計測法の開発

収差補正電子顕微鏡 / 正焦点 / 格子縞コントラスト / 金属ナノ粒子 / 三次元分布 / 非整合エピタキシャル界面 / 三次元観察 / 収差補正TEM / 焦点位置スキャン / 結晶格子縞 / ナノ粒子 / 動画計測 / 三次元計測 / 深さ分解能 / ナノ構造 / 単原子

収差補正TEM像における結晶格子縞コントラストが正焦点で極小となる性質を利用して、焦点位置スキャン（フォーカルシリーズ）から金属ナノ粒子の三次元分布を簡便に計測する手法を開発した。またこの過程で結晶格子縞コントラストを定量的に表示できるフィルター処理の開発に成功した。これを活用して半導体の非整合エピタキシャル界面のラフネスを可視化・定量計測する手法開発にも成功した。

【研究分担者】
田中信夫	名古屋大学	未来材料・システム研究所	研究員	(Kakenデータベース)

【研究連携者】
齋藤晃	名古屋大学	未来材料・システム研究所	教授	(Kakenデータベース)
郷原一寿	北海道大学	工学研究院	教授	(Kakenデータベース)
平田秋彦	東北大学	原子分子材料科学高等研究機構	准教授	(Kakenデータベース)
小林慶太	大阪大学	超高圧電子顕微鏡センター	助教	(Kakenデータベース)