回転体ミラーによる次世代軟X線ナノビーム形成法の開発
【研究分野】量子ビーム科学
【研究キーワード】
Ｘ線集光 / 超精密加工 / 軟Ｘ線 / 軟X線 / Ｘ線ミラー / X線ミラー / 回転楕円ミラー / X線集光 / 高次高調波 / SPring-8 / 形状修正 / 放射光 / 応用光学 / 生産工学 / 顕微鏡 / Ｘ線 / 回転体ミラー / 軟X線集光 / 精密部品加工
【研究成果の概要】
様々なＸ線分析方法の性能の鍵を握る技術にＸ線集光がある。本研究では、Ｘ線の中でも波長1nm～10nmの軟X線領域を対象としたミラーによる集光技術の開発を目的としている。本研究では、回転体ミラーの形状精度を向上させるとともに、回転体ミラーを有効に活用することができるリング集光ミラーと回転体ミラーによる2段集光システムを提案した。
コンパクトな高次高調波軟Ｘ線光源を利用し、回転体ミラーの軟Ｘ線集光に関する基礎的な知見を蓄え、SPring-8において回転体ミラーを用いた軟Ｘ線集光システムを構築した。2段集光システムを完成させサイズ200nm以下の軟Ｘ線集光を確認した。
【研究の社会的意義】
ミラーによる軟X線集光システムは理論的な性能は高いが、その作製が困難であったため利用されていなかった。本研究により、ミラーの製造技術が大幅に進歩するとともに、実際に軟Ｘ線集光が実証され、今後、ミラーによる集光技術が普及すると考えている。その結果、多くのＸ線分析装置の性能が向上し、電池材料や半導体材料の新規開発に貢献する。
【研究代表者】
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2015-04-01 - 2019-03-31
【配分額】41,340千円 (直接経費: 31,800千円、間接経費: 9,540千円)