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研究キーワード:産業技術総合研究所における「圧電薄膜」 に関係する研究一覧:1件
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発表日:2025年7月31日
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高周波通信に貢献する圧電薄膜の作製に成功
-窒化アルミニウム系薄膜で世界最高の圧電定数35.5 pC/Nを実現-
国立研究開発法人 産業技術総合研究所(以下「産総研」という)センシングシステム研究センター 平田 研二 主任研究員、秋山 守人 首席研究員、Anggraini Sri Ayu 主任研究員、䕃浦 泰資 研究員、上原 雅人 主任研究員、山田 浩志 チーム長と、国立研究開発法人 物質・材料研究機構 新津 甲大 独立研究者の研究チームは、弾性波フィルターに使われる窒化物圧...
キーワード:通信方式/無線通信/自動運転/最適化/高周波/圧電性/圧電薄膜/圧電材料/圧電体/局所構造/窒化物/電子状態/アルミニウム/シミュレーション/スパッタリング/センサー/センシング/結晶成長/周波数/第一原理/第一原理計算/弾性波/窒化アルミニウム/電子顕微鏡/配向性/結晶構造/結晶性/スマートフォン
他の関係分野:情報学数物系科学化学工学総合生物農学
産業技術総合研究所 研究シーズ