産業技術総合研究所 研究高周波通信に貢献する圧電薄膜の作製に成功
－窒化アルミニウム系薄膜で世界最高の圧電定数35.5 pC/Nを実現－
【産学連携対象 全学共通分野 Discovery Saga】
【Sagaキーワード】
通信方式/無線通信/自動運転/最適化/高周波/圧電性/圧電薄膜/圧電材料/圧電体/局所構造/窒化物/電子状態/アルミニウム/シミュレーション/スパッタリング/センサー/センシング/結晶成長/周波数/第一原理/第一原理計算/弾性波/窒化アルミニウム/電子顕微鏡/配向性/結晶構造/結晶性/スマートフォン
発表・掲載日：2025/01/21
ポイント
ルテチウム（Lu）を下地層として導入することにより、高濃度にスカンジウム（Sc）を添加したScAlNの結晶性向上に成功Sc固溶量を向上させ、窒化アルミニウム系薄膜で世界最高の圧電定数を達成
スマートフォンに使われている弾性波フィルターの高性能化に貢献
論文情報
掲載誌：Materials Today論文タイトル：Enhancing the Piezoelectric Performance of Nitride Thin Films Through Interfacial Engineering
著者：Kenji Hirata, Kodai Niitsu, Sri Ayu Anggraini, Taisuke Kageura, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama
DOI：10.1016/j.mattod.2024.12.011