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「アモルファス」サイレントキーワードを含む研究
【数物系科学】物理学:局在振動モードアモルファスを含む研究件
❏ガラスにおける局在振動モードの非調和性(19K14670)
【研究テーマ】
【研究種目】若手研究
【研究期間】2019-04-01 - 2021-03-31
【研究代表者】水野 英如 東京大学, 大学院総合文化研究科, 助教 (00776875)
【キーワード】ガラス / アモルファス / 非調和性 / 分子の再配置 / 音波伝搬特性 (他12件)
【概要】前年度は、ガラスの振動モードがフォノン様モードであれ、局在化振動モードであれ、粒子の配置換えを伴う非調和性を有することを示した。当年度は、ガラスに熱を与えたときに、このような非調和性がどのように出現するかを明らかにした。 有限温度のガラス固体の分子動力学シミュレーションを実施し、分子の熱振動運動を詳細に解析した。その結果、ガラス転移温度よりもオーダー低い温度においても、分子は再配置運動を行いながら...
❏ガラスの熱振動特性と弾性不均一性(17K14369)
【研究テーマ】生物物理・化学物理・ソフトマターの物理
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2017-04-01 - 2019-03-31
【研究代表者】水野 英如 東京大学, 大学院総合文化研究科, 助教 (00776875)
【キーワード】ガラス / アモルファス / 弾性不均一性 / 振動特性 / 弾性波 (他12件)
【概要】本研究はマクロスケール(連続体極限)においても、ガラスは均質な弾性体として振る舞うことはなく、欠陥がある弾性体として振る舞うことを明らかにした。そのため、ガラスには弾性波に加えて、欠陥に付随した局在振動モードが生じることが分かった。また、局在振動モードではある領域の分子が極めて大きく振動するが、その領域の振動は座屈的な不安定なものであることを明らかにした。さらに、弾性不均一性を導入した弾性体理論に...
【数物系科学】物理学:中性子散乱アモルファスを含む研究件
❏アルキル化π共役系分子を基材とする液体エレクトレットの開発(18H03922)
【研究テーマ】
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2018-04-01 - 2022-03-31
【研究代表者】中西 尚志 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, グループリーダー (40391221)
【キーワード】エレクトレット / π共役分子 / 液体 / アルキルーπエンジニアリング / 振動発電素子 (他26件)
【概要】π共役分子を分子の中心に、その周りに嵩高くかつ柔軟性に富む分岐アルキル鎖を導入することで、常温液状の機能性分子を得ることができる。この液体に電圧を印加することで、分子の中心に配置されたπ共役部位に電子が優先的に保持され帯電したエレクトレットとなる。この液体エレクトレットを柔軟性電極に含浸させることで、伸縮性振動発電素子の構築に成功した。液体粘性と帯電安定性の相関を検討するなど、最適な液体エレクトレ...
❏アモルファスクラスレート水和物の構造とダイナミクス(16540368)
【研究テーマ】生物物理・化学物理
【研究種目】基盤研究(C)
【研究期間】2004 - 2005
【研究代表者】山室 修 東京大学, 物性研究所, 助教授 (20200777)
【キーワード】アモルファス / クラスレート水和物 / 水素結合 / 疎水性水和 / 中性子散乱 (他8件)
【概要】本研究に必要な装置として、混合ガスを蒸着するための蒸着ラインを作製した。さらに、英国のラザフォード・アップルトン研究所に設置されたMARI分光器による実験を行うため、これまでに使用していた蒸着試料用中性子散乱クライオスタットの大幅な改造を行った。 実験としては、Xe、SF_6、CD_4、Arの気体アモルファスクラスレート水和物を上記の装置を用いて作成し、in situの中性子散乱実験を行った。中性...
【数物系科学】地球惑星科学:物性アモルファスを含む研究件
❏MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究(15206015)
【研究テーマ】生産工学・加工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2003 - 2005
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】本研究では,薄膜金属ガラスと,その微細加工法に関する基礎的,応用的研究を発展させ,従来に無い優れた特性を有するMEMS材料の実現と,三次元立体MEMSの製作を目的とした.具体的には,以下の項目について検討,解明した. ◎基礎的研究 ・新しい薄膜金属ガラスの探索:コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法により,Ru基の薄膜金属ガラス(Ru_<75>Zr_<24>Al_1,ガラス転...
❏基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究(13555073)
【研究テーマ】知能機械学・機械システム
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2001 - 2002
【研究代表者】秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他11件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラスを用いて,基板面外に駆動可能な新しいマイクロアクチュエータ(基板面外駆動マイクロアクチュエータ)を試作するために,以下の検討を行うことを目的とした. (1)新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの考案. (2)精度の高い立体的構造を有する基板面外駆動マイクロアクチュエータの製作方法の検討. (3)試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータの変位特性,応答性の評価と光ピ...
❏薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプローブへの応用(12355007)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2000 - 2002
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラス三次元微細はりを高精度に再現性良く微細成形する技術を確立するために以下の研究を行う. (1)各種薄膜金属ガラスの成膜条件と,その物性の検討. (2)薄膜金属ガラスの過冷却液体域利用した三次元微細成形方法,およびその成形精度,再現性の検討. (3)さらに,応用として薄膜金属ガラス微細梁をプローブとした半導体検査機器への展開. 2.研究成果 (1)薄膜金属ガラスの各種物性値...
【工学】材料工学:レーザーフォーミングアモルファスを含む研究件
❏レーザマイクロフォーミングによる金属ガラス薄膜微小構造物の形状制御(12875029)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】萌芽的研究
【研究期間】2000
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】レーザフォーミング / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他7件)
【概要】(1)レーザマイクロフォーミングの基礎的検討 Zr基およびPd基薄膜金属ガラスの微細加工により,長さ300μm,幅50μm,厚さ5μmのはり先端に一辺150μmの正方形パドル部を持った微細片持はりを製作した.この微細はりの固定端付近に最大出力150mWのYAGレーザを照射することで,薄膜金属ガラスを過冷却液体域まで加熱,軟化させ,レーザを用いたマイクロフォーミングの可能性を検討した. 検討の結果,...
❏薄膜金属ガラスの研究(12875116)
【研究テーマ】金属物性
【研究種目】萌芽的研究
【研究期間】2000
【研究代表者】秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
【キーワード】レーザフォーミング / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他7件)
【概要】(1)薄膜金属ガラスの成膜 RFマグネトロンスパッタ装置にて,Zr基およびPd基の薄膜金属ガラス(Zr_<75>Cu_<19>Al_6,Pd_<76>Cu_6Si_<18>)を成膜した.また,成膜された薄膜金属ガラスの過冷却液体域,抵抗率,機械的強度はスパッタ出力,スパッタ圧力,スパッタ時の酸素および水蒸気分圧に影響されることを見出し,最適と思われる...
【工学】プロセス・化学工学:アルモファスアモルファスを含む研究件
❏高温金属表面におけるシランの分解反応素過程に関する研究(11450297)
【研究テーマ】反応・分離工学
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】1999 - 2001
【研究代表者】越 光男 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (20133085)
【キーワード】シラン / ホットフィラメント / 反応素過程 / CVD / 表面反応 (他11件)
【概要】Cat-CVD(あるいはHot-Wire CVD)法では、原料ガスを高温の金属フィラメント表面で触媒分解してラジカルを発生させる。この方法においてはラジカルを"熱的"に生成するので、イオンや電子励起種などは生成しない。生成した中性ラジカルは、基板に到達するまでに気相中の他の分子と反応して成膜の前駆体分子が形成される。この前駆体分子の性質により膜質は大きく影響を受けると考えられる膜質...
❏銅合金の美術着色機構の解明と新着色法の開発(11450270)
【研究テーマ】材料加工・処理
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】1999 - 2001
【研究代表者】北田 正弘 東京芸術大学, 大学院・美術研究科, 教授 (70293032)
【キーワード】金属工芸 / 煮色着色 / 微細構造 / Cu_2O / 結晶 (他29件)
【概要】わが国の伝統金属工芸技術である煮色着色について、着色層の微細構造と着色機構の解明、煮色層の防食効果、新技術の開発の基礎研究を行った。銅合金の煮色着色層の基本構造はCu_2Oで、結晶とアモルファスの混合状態である。アモルファスになるのは、煮色液中から侵入したS、Clなどの不純物などが混入しているためである。Auを含む赤銅では、結晶とアモルファスCu_2O地中に5nm前後のAu微粒子が分散している。黄...
【工学】構造・機能材料:金属ガラスアモルファスを含む研究件
❏MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究(15206015)
【研究テーマ】生産工学・加工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2003 - 2005
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】本研究では,薄膜金属ガラスと,その微細加工法に関する基礎的,応用的研究を発展させ,従来に無い優れた特性を有するMEMS材料の実現と,三次元立体MEMSの製作を目的とした.具体的には,以下の項目について検討,解明した. ◎基礎的研究 ・新しい薄膜金属ガラスの探索:コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法により,Ru基の薄膜金属ガラス(Ru_<75>Zr_<24>Al_1,ガラス転...
❏基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究(13555073)
【研究テーマ】知能機械学・機械システム
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2001 - 2002
【研究代表者】秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他11件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラスを用いて,基板面外に駆動可能な新しいマイクロアクチュエータ(基板面外駆動マイクロアクチュエータ)を試作するために,以下の検討を行うことを目的とした. (1)新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの考案. (2)精度の高い立体的構造を有する基板面外駆動マイクロアクチュエータの製作方法の検討. (3)試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータの変位特性,応答性の評価と光ピ...
❏バルク金属ガラスの高精度微細成形(13875028)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】萌芽的研究
【研究期間】2001
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】金属ガラス / 微細加工 / 引張り / アモルファス / ひずみ (他6件)
【概要】1.Zr基金属ガラスの結晶化過程の測定(担当:秦) Zr基金属ガラスのバルク材を用いて引張試験を行い,ひずみおよび引張速度による結晶化度の違いをX線回折により測定した.測定の結果,ひずみによる結晶化の促進が確認され,引張速度によっても結晶化の速度が影響されることを確認し,さらに引張速度によっても,結晶化速度が変化する可能性を確認した. 2.結晶化防止・抑制方法の検討(担当:秦) 上記の実験結果を基...
【工学】構造・機能材料:局所構造アモルファスを含む研究件
❏アモルファス系電池用材料の局所原子配列と充放電機構(17H01325)
【研究テーマ】構造・機能材料
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2017-04-01 - 2020-03-31
【研究代表者】平田 秋彦 早稲田大学, 理工学術院, 教授(任期付) (90350488)
【キーワード】電子回折 / 電池用負極材料 / アモルファス / リバースモンテカルロ / 電池用負極材 (他16件)
【概要】本研究では、従来手掛けてきたオングストロームビーム電子回折実験に関連した新たな解析技術の開発を行い、リチウムイオン電池のアモルファス負極材の解析にこれらの技術も応用することで、これまでに得られなかったアモルファス電池材の局所構造の情報を得られるようになった。さらに、実際に充放電を行ったアモルファス材についても解析を行い、充放電過程における局所構造の情報を得られるようになった。今後、リチウムイオン電...
❏ホモロガスIn2O3‐ZnO薄膜の超格子形成機構とその熱電特性の解明(16K21338)
【研究テーマ】薄膜・表面界面物性
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2016-04-01 - 2019-03-31
【研究代表者】賈 軍軍 青山学院大学, 理工学部, 助教 (80646737)
【キーワード】熱・電気特性 / 超格子構造 / アモルファス / In2O3 / ZnO (他21件)
【概要】汎用性が高いガラス基板上に、高温で化学的に安定なIn2O3(ZnO)m超格子熱電薄膜の作製が成功した。その形成メカニズムも解明した。高温においてIn2O3(ZnO)m超格子薄膜のキャリア発生源としては酸素空孔のほかに、格子間亜鉛も寄与する。In2O3(ZnO)m超格子薄膜の熱伝導率は2 W/mK以下で、アモルファス薄膜と同程度である。第一原理計算を用いて、In2O3(ZnO)m超格子構造中のヘテロ...
【工学】総合工学:カラスアモルファスを含む研究件
❏ガラスにおける局在振動モードの非調和性(19K14670)
【研究テーマ】
【研究種目】若手研究
【研究期間】2019-04-01 - 2021-03-31
【研究代表者】水野 英如 東京大学, 大学院総合文化研究科, 助教 (00776875)
【キーワード】ガラス / アモルファス / 非調和性 / 分子の再配置 / 音波伝搬特性 (他12件)
【概要】前年度は、ガラスの振動モードがフォノン様モードであれ、局在化振動モードであれ、粒子の配置換えを伴う非調和性を有することを示した。当年度は、ガラスに熱を与えたときに、このような非調和性がどのように出現するかを明らかにした。 有限温度のガラス固体の分子動力学シミュレーションを実施し、分子の熱振動運動を詳細に解析した。その結果、ガラス転移温度よりもオーダー低い温度においても、分子は再配置運動を行いながら...
❏ガラスの熱振動特性と弾性不均一性(17K14369)
【研究テーマ】生物物理・化学物理・ソフトマターの物理
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2017-04-01 - 2019-03-31
【研究代表者】水野 英如 東京大学, 大学院総合文化研究科, 助教 (00776875)
【キーワード】ガラス / アモルファス / 弾性不均一性 / 振動特性 / 弾性波 (他12件)
【概要】本研究はマクロスケール(連続体極限)においても、ガラスは均質な弾性体として振る舞うことはなく、欠陥がある弾性体として振る舞うことを明らかにした。そのため、ガラスには弾性波に加えて、欠陥に付随した局在振動モードが生じることが分かった。また、局在振動モードではある領域の分子が極めて大きく振動するが、その領域の振動は座屈的な不安定なものであることを明らかにした。さらに、弾性不均一性を導入した弾性体理論に...
【工学】総合工学:シリコンアモルファスを含む研究件
❏超薄高誘電率ゲート絶縁膜におけるシリコンとの界面制御の研究(13852009)
【研究テーマ】電子・電気材料工学
【研究種目】基盤研究(S)
【研究期間】2001 - 2005
【研究代表者】鳥海 明 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (50323530)
【キーワード】高誘電率絶縁膜 / 酸化ハフニウム / 酸化イットリウム / 酸化ランタン / シリコン (他34件)
【概要】本研究の目的は、超膜高誘電率膜が次世代LSI用CMOSゲート酸化膜に適用可能であるかを材料学的に判断することであった。以下にその成果をまとめる。 1.High-k材料の高誘電率性の起源の理解と材料設計指針の確立 (1)遠赤外吸収測定により、高誘電率膜それぞれに特徴的なフォノンモードを実験的に提示した。 (2)HfO_2にYやSiをドープして高温相へと相変態させ、30に近い比誘電率を実験的に初めて示...
❏高温金属表面におけるシランの分解反応素過程に関する研究(11450297)
【研究テーマ】反応・分離工学
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】1999 - 2001
【研究代表者】越 光男 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (20133085)
【キーワード】シラン / ホットフィラメント / 反応素過程 / CVD / 表面反応 (他11件)
【概要】Cat-CVD(あるいはHot-Wire CVD)法では、原料ガスを高温の金属フィラメント表面で触媒分解してラジカルを発生させる。この方法においてはラジカルを"熱的"に生成するので、イオンや電子励起種などは生成しない。生成した中性ラジカルは、基板に到達するまでに気相中の他の分子と反応して成膜の前駆体分子が形成される。この前駆体分子の性質により膜質は大きく影響を受けると考えられる膜質...
【工学】総合工学:結晶化アモルファスを含む研究件
❏ホモロガスIn2O3‐ZnO薄膜の超格子形成機構とその熱電特性の解明(16K21338)
【研究テーマ】薄膜・表面界面物性
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2016-04-01 - 2019-03-31
【研究代表者】賈 軍軍 青山学院大学, 理工学部, 助教 (80646737)
【キーワード】熱・電気特性 / 超格子構造 / アモルファス / In2O3 / ZnO (他21件)
【概要】汎用性が高いガラス基板上に、高温で化学的に安定なIn2O3(ZnO)m超格子熱電薄膜の作製が成功した。その形成メカニズムも解明した。高温においてIn2O3(ZnO)m超格子薄膜のキャリア発生源としては酸素空孔のほかに、格子間亜鉛も寄与する。In2O3(ZnO)m超格子薄膜の熱伝導率は2 W/mK以下で、アモルファス薄膜と同程度である。第一原理計算を用いて、In2O3(ZnO)m超格子構造中のヘテロ...
❏中性子・X線回折によるアモルファス氷の結晶化その場観察(25870182)
【研究テーマ】量子ビーム科学
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2013-04-01 - 2016-03-31
【研究代表者】小松 一生 東京大学, 理学(系)研究科(研究院), 准教授 (50541942)
【キーワード】アモルファス氷 / 高圧 / 結晶化 / 氷 / 多形 (他9件)
【概要】塩は通常の氷にはほとんど取り込まれることがない。しかし、高圧氷にはかなりの量の塩分を含みうることが、最近の研究でわかってきている。この塩を含む高圧氷は、低温高圧下でアモルファス氷から結晶化するという特殊な方法で生成されている。本研究期間では、この生成過程の基礎研究、すなわち塩分濃度の違いによるアモルファス化や結晶化の温度圧力を調べる研究を行い、またこの特殊な生成過程を応用した新規塩水和物の結晶構造...
【工学】総合工学:微細加工アモルファスを含む研究件
❏MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究(15206015)
【研究テーマ】生産工学・加工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2003 - 2005
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】本研究では,薄膜金属ガラスと,その微細加工法に関する基礎的,応用的研究を発展させ,従来に無い優れた特性を有するMEMS材料の実現と,三次元立体MEMSの製作を目的とした.具体的には,以下の項目について検討,解明した. ◎基礎的研究 ・新しい薄膜金属ガラスの探索:コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法により,Ru基の薄膜金属ガラス(Ru_<75>Zr_<24>Al_1,ガラス転...
❏基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究(13555073)
【研究テーマ】知能機械学・機械システム
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2001 - 2002
【研究代表者】秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他11件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラスを用いて,基板面外に駆動可能な新しいマイクロアクチュエータ(基板面外駆動マイクロアクチュエータ)を試作するために,以下の検討を行うことを目的とした. (1)新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの考案. (2)精度の高い立体的構造を有する基板面外駆動マイクロアクチュエータの製作方法の検討. (3)試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータの変位特性,応答性の評価と光ピ...
❏バルク金属ガラスの高精度微細成形(13875028)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】萌芽的研究
【研究期間】2001
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】金属ガラス / 微細加工 / 引張り / アモルファス / ひずみ (他6件)
【概要】1.Zr基金属ガラスの結晶化過程の測定(担当:秦) Zr基金属ガラスのバルク材を用いて引張試験を行い,ひずみおよび引張速度による結晶化度の違いをX線回折により測定した.測定の結果,ひずみによる結晶化の促進が確認され,引張速度によっても結晶化の速度が影響されることを確認し,さらに引張速度によっても,結晶化速度が変化する可能性を確認した. 2.結晶化防止・抑制方法の検討(担当:秦) 上記の実験結果を基...
【工学】総合工学:MEMSアモルファスを含む研究件
❏MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究(15206015)
【研究テーマ】生産工学・加工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2003 - 2005
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】本研究では,薄膜金属ガラスと,その微細加工法に関する基礎的,応用的研究を発展させ,従来に無い優れた特性を有するMEMS材料の実現と,三次元立体MEMSの製作を目的とした.具体的には,以下の項目について検討,解明した. ◎基礎的研究 ・新しい薄膜金属ガラスの探索:コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法により,Ru基の薄膜金属ガラス(Ru_<75>Zr_<24>Al_1,ガラス転...
❏基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究(13555073)
【研究テーマ】知能機械学・機械システム
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2001 - 2002
【研究代表者】秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他11件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラスを用いて,基板面外に駆動可能な新しいマイクロアクチュエータ(基板面外駆動マイクロアクチュエータ)を試作するために,以下の検討を行うことを目的とした. (1)新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの考案. (2)精度の高い立体的構造を有する基板面外駆動マイクロアクチュエータの製作方法の検討. (3)試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータの変位特性,応答性の評価と光ピ...
❏薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプローブへの応用(12355007)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2000 - 2002
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラス三次元微細はりを高精度に再現性良く微細成形する技術を確立するために以下の研究を行う. (1)各種薄膜金属ガラスの成膜条件と,その物性の検討. (2)薄膜金属ガラスの過冷却液体域利用した三次元微細成形方法,およびその成形精度,再現性の検討. (3)さらに,応用として薄膜金属ガラス微細梁をプローブとした半導体検査機器への展開. 2.研究成果 (1)薄膜金属ガラスの各種物性値...
【工学】総合工学:薄膜アモルファスを含む研究件
❏アモルファスエレクトライドの領域開拓(17H01228)
【研究テーマ】無機工業材料
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2017-04-01 - 2018-03-31
【研究代表者】細野 秀雄 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (30157028)
【キーワード】アモルファス / エレクトライド / 薄膜 / 半導体物性
【概要】アモルファスC12A7エレクトライドの光学的・電気的性質を検討するために薄膜試料を作製した。具体的にはC12A7エレクトライドの緻密なセラミックスターゲットをSPSで作製し、これを用いて高周波スパッターリングによってシリカガラス基板上に50-200nmの厚さの薄膜を堆積した。スパッターガスには100%アルゴンを用いた。薄膜X線開設測定から試料はアモルファスであることを確認した。光学吸収を測定したと...
❏MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究(15206015)
【研究テーマ】生産工学・加工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2003 - 2005
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】本研究では,薄膜金属ガラスと,その微細加工法に関する基礎的,応用的研究を発展させ,従来に無い優れた特性を有するMEMS材料の実現と,三次元立体MEMSの製作を目的とした.具体的には,以下の項目について検討,解明した. ◎基礎的研究 ・新しい薄膜金属ガラスの探索:コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法により,Ru基の薄膜金属ガラス(Ru_<75>Zr_<24>Al_1,ガラス転...
❏基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究(13555073)
【研究テーマ】知能機械学・機械システム
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2001 - 2002
【研究代表者】秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他11件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラスを用いて,基板面外に駆動可能な新しいマイクロアクチュエータ(基板面外駆動マイクロアクチュエータ)を試作するために,以下の検討を行うことを目的とした. (1)新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの考案. (2)精度の高い立体的構造を有する基板面外駆動マイクロアクチュエータの製作方法の検討. (3)試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータの変位特性,応答性の評価と光ピ...
【医歯薬学】薬学:自己組織化アモルファスを含む研究件
❏液晶の自己組織化構造と界面相互作用を活用する高分子/無機融合材料の構築(15H02179)
【研究テーマ】高分子化学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2015-04-01 - 2019-03-31
【研究代表者】加藤 隆史 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (70214377)
【キーワード】ハイブリッド材料 / 自己組織化 / バイオミネラリゼーション / 結晶成長 / コロイド粒子 (他16件)
【概要】水溶性高分子によって安定化した無機結晶のアモルファス前駆体の結晶化を、高分子基板で制御することにより、形状や配向を制御したヒドロキシアパタイトや酸化亜鉛の薄膜結晶を作製する手法を開発した。また、アモルファス無機粒子を異方的なコロイド結晶へと制御して変化させることにより、世界初となる炭酸カルシウムやヒドロキシアパタイトの液晶化にも成功した。さらに高分子ゲルと無機結晶を精密に複合化することにより、透明...
❏ガラスとソフトセラミクスの数理科学(26310205)
【研究テーマ】連携探索型数理科学
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2014-07-18 - 2018-03-31
【研究代表者】西浦 廉政 東北大学, 材料科学高等研究所, 特任教授 (00131277)
【キーワード】計算ホモロジー / マルチスケール / 自己組織化 / アモルファス / ソフトセラミックス (他10件)
【概要】パーシステントダイアグラム(PD)がアモルファス構造を理解する上で、有効な数学的記述子であることを明らかにした。PD図は液体状態とは異なり、特徴的な島構造を有し、逆問題解法により、その階層構造も明らかにできた。またデータ解析のためのHomCloudというソフトウエアーを完成させた。 ナノ微粒子のミクロ相分離モデルを連立Cahn-Hilliard 方程式により確立した。これによりナノ微粒子の全体形状...
【医歯薬学】薬学:プローブアモルファスを含む研究件
❏バルク金属ガラスの高精度微細成形(13875028)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】萌芽的研究
【研究期間】2001
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】金属ガラス / 微細加工 / 引張り / アモルファス / ひずみ (他6件)
【概要】1.Zr基金属ガラスの結晶化過程の測定(担当:秦) Zr基金属ガラスのバルク材を用いて引張試験を行い,ひずみおよび引張速度による結晶化度の違いをX線回折により測定した.測定の結果,ひずみによる結晶化の促進が確認され,引張速度によっても結晶化の速度が影響されることを確認し,さらに引張速度によっても,結晶化速度が変化する可能性を確認した. 2.結晶化防止・抑制方法の検討(担当:秦) 上記の実験結果を基...
❏薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプローブへの応用(12355007)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2000 - 2002
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラス三次元微細はりを高精度に再現性良く微細成形する技術を確立するために以下の研究を行う. (1)各種薄膜金属ガラスの成膜条件と,その物性の検討. (2)薄膜金属ガラスの過冷却液体域利用した三次元微細成形方法,およびその成形精度,再現性の検討. (3)さらに,応用として薄膜金属ガラス微細梁をプローブとした半導体検査機器への展開. 2.研究成果 (1)薄膜金属ガラスの各種物性値...