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研究分野別サイレントキーワード
「エッチング」サイレントキーワードを含む研究
【総合理工】応用物理学:走査型トンネル顕微鏡(STM)エッチングを含む研究件
❏GaNの結晶成長の原子レベル研究とデバイス応用(11355002)
【研究テーマ】表面界面物性
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】1999 - 2000
【研究代表者】櫻井 利夫 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (20143539)
【キーワード】GaN / 走査トンネル顕微鏡 / エピタクシー / デバイス加工 / 表面構造 (他10件)
【概要】バルクGaN結晶に関しては熱力学的な知見をベースに実用サイズの単結晶成長が実現しつつあるが未だ不十分で、デバイス製作のキーポイントとなるMOCVD, MBEの重要性はいっそう大きくなっている。にも拘らず、化学エッチングも含めてこれらの基本的デバイス生成プロセスの原子スケール、ナノスケールのダイナミクス、組成、構造に関する基礎的知見は未だ理解が進んでいない。本研究では、原子レベルでエピタクシャル成長...
❏プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用(09555215)
【研究テーマ】材料加工・処理
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】1997 - 1998
【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
【キーワード】プラズマ環境 / STM / プラズマ-固体界面 / プラズマ材料表面プロセス / エッチング (他9件)
【概要】本研究は、世界に先駆け、 (1) プラズマ環境中で作動する走査プローブ顕微鏡(STM;scanning tunneling microscope)開発 (2) そのラズマ材料表面プロセスの原子オーダー研究"への応用を目指したものであり、2年間の本研究の研究実績は以下の通りである。 (A) プラズマ環境中で作動する走査式トンネル顕微鏡/分光装置の開発 物性研究用のプラズマ環境中で安定的に作動...
【工学】総合工学:シリコンエッチングを含む研究件
❏微細加工技術を利用したマイクロ光電子増倍管による放射線イメージング法の研究(07458099)
【研究テーマ】エネルギー学一般・原子力学
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】1995 - 1996
【研究代表者】中沢 正治 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00010976)
【キーワード】光電子増倍管 / マイクロマシニング / エッチング / LIGA / 電子増倍 (他11件)
【概要】最近SRなど高輝度の線源が得られるようになっており高計数率動作の可能な放射線イメージング用検出器の需要が高まっている。本研究では、極めて高い計数率で動作可能なイメージング用検出器として、微細加工技術を利用した新しいマイクロ光電子増倍管(MPMT)の開発研究を行った。MPMTは、電子増倍を行うための100μm×100μm程度のピクセルサイズの微細なダイノードチャンネルを一枚のダイノードプレート上に多...
❏シリコン表面近傍におけるプロセス誘起欠陥準位の発生条件(01550022)
【研究テーマ】応用物性
【研究種目】一般研究(C)
【研究期間】1989
【研究代表者】太田 英二 慶應義塾大学, 理工学部, 助教授 (20112675)
【キーワード】シリコン / プロセス誘起欠陥 / DLTS / エッチング
【概要】1.低濃度欠陥準位を低温で高感度・迅速に測定するため、計算機を利用してDLTS装置を改良した。 2.(1)n形Si中において欠陥準位を50-100Kの温度範囲でDLTS法により観測し、そのエネルギ-準位および電子捕獲断面積を測定した。これを用いて欠陥準位の空間分布を解析した。 (2)欠陥準位は表面においてその濃度は高く、バルク内部に向かって指数関数的に減少することを示した。 (3)欠陥準位の発生は...
【工学】総合工学:微細加工エッチングを含む研究件
❏ショットノイズ測定による強相関物質の電荷素励起の研究(14340101)
【研究テーマ】固体物性Ⅱ(磁性・金属・低温)
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2002 - 2004
【研究代表者】前田 京剛 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助教授 (70183605)
【キーワード】ショットノイズ / FIB / レーザーアブレーション / 超伝導ゆらぎ / マイクロ波 (他20件)
【概要】(1)レーザーアブレーション薄膜作成装置の組み上げ:エキシマーレーザーを用いた,レーザーアブレーション法による薄膜作成装置を作成した。初期のころは,温度が十分に上がらず,また,均一性に問題があったため,基板の加熱方式をランプ加熱方式に変更した。これにより,均質度の高い薄膜を作成することに成功した。 (2)銅酸化物超伝導体単結晶薄膜の作製:改良したレーザーアブレーション薄膜作成装置で,アンダードープ...
❏微細加工技術を利用したマイクロ光電子増倍管による放射線イメージング法の研究(07458099)
【研究テーマ】エネルギー学一般・原子力学
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】1995 - 1996
【研究代表者】中沢 正治 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00010976)
【キーワード】光電子増倍管 / マイクロマシニング / エッチング / LIGA / 電子増倍 (他11件)
【概要】最近SRなど高輝度の線源が得られるようになっており高計数率動作の可能な放射線イメージング用検出器の需要が高まっている。本研究では、極めて高い計数率で動作可能なイメージング用検出器として、微細加工技術を利用した新しいマイクロ光電子増倍管(MPMT)の開発研究を行った。MPMTは、電子増倍を行うための100μm×100μm程度のピクセルサイズの微細なダイノードチャンネルを一枚のダイノードプレート上に多...