高パワー作業を行う狭隘空間内作業マイクロロボットの開発
【研究分野】設計工学・機械機能要素・トライボロジー
【研究キーワード】
マイクロマシン / 先端機能デバイス / マイクロロボット / ER(電気粘性)流体 / 交流圧力 / MEMS / ソフトロボット / アクチュエータ / 多自由度 / 高アスペクト比
【研究成果の概要】
災害現場の瓦礫内、化学プラントの細管内などの狭隘空間で高パワー作業を行うマイクロロボットのため、ER流体の電界による粘度変化でその往復流れを同期整流する多自由度ERマイクロフィンガシステムを発展させた。MEMS技術を用いて長さ1.6 mmのERマイクロフィンガを試作し、その動作を確認した。また、長さ1.9 mmの2自由度PDMSフィンガ部を試作し、空気圧でその動作を確認した。さらに、圧電バイモルフを用いた直径3.3 mmのマイクロ交流圧力源を試作し、200 Hzまでの動作を確認した。最後に、以上の構成要素を1チップ上に集積した2自由度ERマイクロフィンガシステムを構築した。
【研究代表者】
【研究分担者】 |
金 俊完 | 東京工業大学 | 科学技術創成研究院 | 准教授 | (Kakenデータベース) |
嚴 祥仁 | 東京工業大学 | 科学技術創成研究院 | 助教 | (Kakenデータベース) |
横田 眞一 | 東京工業大学 | 精密工学研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2014-04-01 - 2018-03-31
【配分額】16,510千円 (直接経費: 12,700千円、間接経費: 3,810千円)