Discovery Sagaサイレントキーワード俯瞰

薄膜 / 応力発光 / イオンビームスパッタ / 抵抗加熱蒸着 / 集中荷重 / 薄膜材料 / 応力 / ひずみ / 力学発光

応力発光が期待されるZnSに着目し、ZnS:Mn微粉末による繰り返し応力試験、また薄膜蒸着法による応力発光薄膜を作製した。ZnS:Mn2+微粉末は、フォトルミネッセンス(PL)および力学発光(ML)を生じ、明瞭な発光が確認される。蒸着膜における表面クラック・剥離はバッファ層により著しく低減し、X線回折によるピークシフトから界面応力の存在が示唆される。またas-depo試料においてはPLが確認されないものの、700℃Ar雰囲気下におけるアニールによりPLが確認された。