自己組織化単分子膜を用いたMIS界面設計と新機能ナノ電子デバイスへの応用展開
【研究分野】電子デバイス・電子機器
【研究キーワード】
自己組織化単分子膜 / 二硫化モリブデン / 電界効果トランジスタ / 界面特性 / 自己組織化 / ナノデバイス / 2次元材料 / マイクロ・ナノデバイス / 先端機能デバイス / 電子デバイス・機器
【研究成果の概要】
自己組織化単分子膜(Self-Assembled Monolayer:SAM)をゲート絶縁膜に用いたゲート絶縁膜技術を確立し、新機能を有する電子デバイス開拓に向けた異種材料の界面設計に関する研究を行った。ゲート絶縁膜は酸素プラズマによって形成したアルミニウム酸化膜とホスホン酸SAMの2層構造からなる。極薄膜厚かつ高い絶縁性を有する自己組織化単分子膜をゲート絶縁膜に用いることで、2V駆動のMoS2 FETsの作製に成功した。またId-Vg特性にヒステリシスは認められず、サブスレッショルドスロープも69 mV/decであることから、良好な界面特性をMoS2/SAM構造によって実現した。
【研究代表者】
【研究協力者】 |
| 小田 俊理 | |
| Du Wanjing | |
| 居駒 遼 | |
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【研究種目】研究活動スタート支援
【研究期間】2015-08-28 - 2017-03-31
【配分額】2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)