小型・軽量・柔軟な超音波診断デバイスの開発
【研究分野】電子デバイス・電子機器
【研究キーワード】
波動利用工学 / 超音波 / 圧電薄膜 / 波動応用工学
【研究成果の概要】
柔軟な圧電性フィルムは医療用超音波振動子、エネルギー発電デバイス等に有効であるが、従来はそのようなフレキシブルな圧電材料を製作するのは困難であった。本研究では、チタン薄膜をプラスチック基板(PEEK)上に電子ビームで蒸着し、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)の圧電薄膜を、超音波アシスト水熱法により成膜した。この手法を開発することにより、柔軟・軽量な圧電トランスデューサを実現できることを示した。
【研究代表者】
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2009 - 2010
【配分額】4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)