【研究分野】電子デバイス・電子機器

【研究領域課題番号】23360149 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

統合設計 / CMOS / MEMS / 加速度センサ / センサ回路 / CMOS-MEMS / 異種機能集積 / 人体検知 / 異種機能集積化

【研究成果の概要】

本研究は新しい人体検知用CMOS-MEMSを提案・実施した。成果は、i)回路シミュレータ上でMEMSとLSIを同時にシミュレーションしかつレイアウト可能な方法を世界で初めて構築,ii)新たなMEMSを提案し、設計・試作実証,iii)アレイ型MEMS加速度センサの検討を行い、1Gから20Gまでの検出実現,iv) Sub-1Gの加速度センサを検討し1mm角でセンサ感度0.78μｇ/Hz1/2を実現,v)汎用センサ回路を提案検討し、試作実証,vi)振動発電デバイスを提案し、2x4mm角、周波数88Hz、電力0.43μWの設計値取得、である。以上から、CMOS-MEMSの基本技術構築をできたと考える。

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2011-04-01 - 2014-03-31

【配分額】17,290千円 (直接経費: 13,300千円、間接経費: 3,990千円)