【研究分野】生産工学・加工学

【研究領域課題番号】19206016 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

ナノメカニクス / 三次元ナノ構造 / ナノ振動子 / センシングデバイス / ナノ加工 / ナノ計測 / 機械振動共振特性 / 電子ビーム・イオンビーム加工 / マイクロ・ナノデバイス / ナノ加工・計測 / 機械共振特性 / 電子ビーム・イオンビーム / ナノ加工・ナノ計測 / ナノレゾネータ / センシング / 機械共振特性評価 / 自己組織化 / 微小共振器 / 機械特性評価 / 高Q値

【研究成果の概要】

21世紀の先端ハードウエア技術(先端ものつくり)の根幹を支えるナノテクノロジーは,ナノ構造が発現する新たな物性を利用して新しい"もの"を創造することが重要なポイントである.本研究では,ナノテク時代の機械工学「ナノメカニクス」を開拓することを目標に,三次元ナノメカニカル構造としてナノ振動子を取り上げ,振動子の設計法,三次元ナノ構造作製技術の開発,機械振動測定法の開発と共振特性の解明,およびそのセンシングデバイスへの応用などナノ振動子の創製とその機能化のための基盤技術の構築を進めた.

【研究種目】基盤研究(A)

【研究期間】2007 - 2010

【配分額】47,320千円 (直接経費: 36,400千円、間接経費: 10,920千円)