超微細機械加工と自己組織化を併用したナノ加工技術の確立と光学機能創出への適用
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
超微細塑性加工 / 自己組織化 / 微細金属素子 / 光学機能材料 / 製造プロセス / 微細切削加工 / 熱ナノインプリント / 超微細加工 / 金属ナノドットアレイ / 熱デウェッティング / 製造技術 / 光メタマテリアル / プラスチックフィルム / 微細素子 / 機能表面 / 生産工学
【研究成果の概要】
本研究は、石英ガラス基板上にサブμmサイズの微細金属素子を製造するための低コストで効率的な加工技術の開発を目指した。このためにまず微細切削加工実験と微細塑性加工が行える微細複合機械加工装置を開発し、また単結晶ダイヤモンド製微細型工具を開発し、その加工特性を明らかにした。さらに微細機械加工と焼鈍による自己組織化により、金属ナノドットアレイや二重ナノロッドアレイなど特異な光学特性を有する微細金属素子を作製出来ることを示した。さらに母型に加工した微細構造を熱ナノインプリント法でプラスチック膜に転写し、それを用いたケミカルスタンプ法を提案し、金属微細素子の効率的製造法の可能性を示した。
【研究代表者】