【研究分野】生産工学・加工学

【研究領域課題番号】25289011 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

メカニカル振動子 / ハイブリッド構造 / ガスセンシング / ガス弁別機能 / 酸化スズ / グラフェン / ブロック共重合体ナノ構造 / ノイズ信号処理 / 連結ナノ機械振動子 / 極低濃度ガスセンシング / 非線形振動特性 / アセトン / 呼気ガス分析

【研究成果の概要】

ppm～ppbレベルの極低濃度ガス分子検出を室温大気中で実現可能な超高感度ナノメカニカルセンサの実現を目指した．静電引力により共振周波数の制御が可能な連結機械振動子により9.7agの質量が検出可能であることを示した．酸化スズ被膜と両持梁機械振動子とを組み合わせた構造に酸化スズ被膜にPt薄膜を触媒としてさらに積層させることで実測10 ppm，推定でサブppmまでの検出感度が得られることを示した．市販のCVD単層グラフェンによるセンサで得られる抵抗のノイズ成分の類似度分析や周波数分析により窒素とアセトンのガス弁別が可能であることを示した．

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2016-03-31

【配分額】18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)