走査プローブ顕微鏡によるナノスケール局所電気特性計測に関する理論解析
【研究分野】薄膜・表面界面物性
【研究キーワード】
走査プローブ顕微鏡 / 電気特性計算 / ナノスケール電気伝導 / ナノ構造 / 薄膜・表面界面物性 / 走査トンネル分光 / 局所トンネル障壁高さ / ケルビン力顕微鏡 / 多探針電気特性計測 / キャパシタンス
【研究成果の概要】
走査プローブ顕微鏡を用いた各種ナノスケール局所電気特性計測の理論解析に必要な方法論・シミュレータを開発・改良し、局所トンネル障壁高さ計測と印加電圧による探針誘起バンド湾曲との相関の解明、4端子抵抗測定にゲート電圧による抵抗値振動や府抵抗値出現の原因の解明、4端子抵抗測定おけるゼロ電流条件を満たす電圧プローブの電圧値を推測する公式の導出、等の成果を得た
【研究代表者】