サーファクタントエピタキシー法を用いた金属/セラミックス多層膜の構造制御と物性
【研究分野】ナノ材料・ナノバイオサイエンス
【研究キーワード】
ナノ表面界面 / 結晶成長 / サーファクタント / エピタキシャル / スパッタ蒸着 / 構造制御 / 薄膜・多層膜 / シーディッドエピタキシー / 表面・界面構造 / ナノ構造制御 / 表面・界面物性 / 多層膜
【研究成果の概要】
サーファクタントと呼ばれる表面活性剤の一種を用い、金属やセラミックス薄膜(膜厚はnmのオーダー)の成長を意図的に制御することにより、平坦性(二次元性の高い)、結晶性(単一配向に成長)の高い高品質な薄膜やナノスケールの三次元島状成長した(ナノドット構造を持つ)薄膜を作製することに成功した。次に金属/セラミックス薄膜が交互に積層した多層膜を作製し、その物性について検討を行った。
【研究代表者】
【研究種目】基盤研究(C)
【研究期間】2007 - 2008
【配分額】4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)