深掘りMEMSトレンチ受光素子集積化初期視覚処理プロセッサと動体検出応用
【研究分野】電子デバイス・電子機器
【研究キーワード】
電子デバイス・集積回路 / MEMS / マイクロ・ナノデバイス / 光物性 / 三次元形状検出 / スマートセンサ情報システム
【研究成果の概要】
今まで機械構造や受動電子素子としてしか利用されてこなかった三次元MEMS構造の壁面に、ダイオードやトランジスタといった能動素子を作りこむことで、他にはない高度な機能をもった新しい集積化MEMSデバイスを、三次元世界の物体検出という最終アプリケーションを念頭に置いて創成することを提案した。特に、ナノ(100nmクラス)構造を利用した機能的光イメージャー」の方向に研究を進め、トレンチの幅を可視光波長以下としたデバイスを用いると、物理的構造によって光の偏光に敏感な素子として動作することがわった。学会発表時のデータで1:4、その後の実験によって、偏光方向の消光比にして1:20といった感度のデバイスを作製することに成功した。
【研究代表者】
【研究種目】若手研究(A)
【研究期間】2008 - 2010
【配分額】25,350千円 (直接経費: 19,500千円、間接経費: 5,850千円)