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MEMS寒天セル(1)開放型マイクロ流路(1)精密位置決め技術(1)細菌観察(1)寒天マイクロ流路(1)壁なし流路(1)粗微動ステージ駆動機構(1)液体セル(1)液中細菌(1)マイクロ流路技術(1)電子線透過膜(1)極博化(1)極薄電子線透過膜付きマイクロ流路(1)
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