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科学技術振興機構 研究シーズDiscovery Saga
研究キーワード:科学技術振興機構における「微細加工技術」 に関係する研究一覧:1
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発表日:2025年7月31日
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レーザー加工を従来比100万倍高速化
~半導体分野におけるガラスの微細加工に革新~
ガラスなどの加工の難しい材料を、従来の100万倍高速で、なおかつ超精密に加工できる手法を開発しました。ピコ秒(10のマイナス12乗秒)という極短時間だけ材料の物性を変化させることで、加工効率が劇的に向上することを発見しました。次世代型半導体において、ガラス基板への微細加工技術の確立が急務となっています。本技術により、半導体産業の飛躍的な進展が期待されます。東京大学 大学院工学系研究科の伊藤 佑介 講師らとAGC株式会社による研究グループは、従来の100万倍高速かつ超精密に、ガラスなどの透明材料を加工できる手法を開発しました。次世代の半導体に...
キーワード:空間分布/加工速度/材料特性/半導体産業/ピコ秒/フェムト秒/フェムト秒レーザー/レーザー/レーザー加工/精密加工/半導体/微細加工/微細加工技術
他の関係分野:環境学工学総合生物