大阪公立大学 研究シーズ|
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研究キーワード：大阪公立大学における「エピタキシャル」 に関係する研究一覧：2件
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発表日：2026年3月17日
1
半導体基板上で非鉛圧電体の性能向上を実証
～汎用成膜法で多数の条件を同時に評価し実現～
圧電材料は力を加えると電気が生じ、電気を加えると形が変わる性質を持つ材料で、圧力センサーやイヤホンなどに広く用いられています。鉛を使用しない圧電材料として注目されるビスマス鉄酸化物（BiFeO3、BFO）※1は、圧縮の力により圧電性能が向上することが報告されていましたが、この効果は実用的な半導体基板上では適用が難しいと考えられていました。本研究グループは、引張ひずみ※2を積極的に利用するという発想により、半導体基板上でもBFOの構造相転移※3...
キーワード：ウェアラブル/ウェアラブルデバイス/モノのインターネット（IoT）/最適化/結晶格子/パルス/ビスマス/物質科学/ジルコン/広帯域/高周波/相転移/多結晶/圧電性/シリコンウエハ/融点/スパッタ法/圧力センサー/電子デバイス/誘電率/機械的特性/持続可能/加速度センサー/材料特性/持続可能な開発/半導体産業/エピタキシャル/エピタキシャル薄膜/チタン/圧電材料/圧電体/機械的性質/構造相転移/単結晶/電池/MEMS/PZT/シリコン/スマートセンサー/センサー/ひずみ/環境負荷/酸化物/熱膨張/半導体/力センサー/結晶構造/微小環境/寿命/スマートフォン
他の関係分野：情報学数物系科学化学工学農学
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発表日：2025年5月20日
2
β型酸化ガリウム結晶の高精度n型ドーピング技術を独自の有機金属気相成長法で実現
～次世代パワーデバイス量産に向けた基盤技術を確立～
東京農工大学 大学院工学研究院応用化学部門の熊谷 義直教授らのグループは、大陽日酸株式会社の吉永 純也氏ら、奈良女子大学の佐々木 捷悟助教、工学院大学の尾沼 猛儀教授、大阪公立大学／情報通信研究機構（NICT（エヌアイシーティー））の東脇 正高教授／室長、および大陽日酸ATI株式会社の伴 雄三郎博士らと共同で、独自の減圧ホットウォール有機金属気相成長（MOVPE）法※1を用い、高精度にn型キャリア密度※2を制御したβ型酸化ガリウム（β-Ga2O3）結晶※3の高速成...
キーワード：電力制御/情報通信/金属元素/有機金属化合物/有機金属/GaN/MOVPE/エピタキシャル成長/キャリア/トランジスタ/パワーデバイス/バンドギャップ/高電圧/酸化物半導体/窒化物半導体/電力変換/発光素子/半導体デバイス/半導体材料/力制御/持続可能/持続可能な開発/エピタキシャル/ドーピング/単結晶/窒化物/SiC/結晶成長/高効率化/酸化物/半導体
他の関係分野：情報学複合領域環境学化学総合理工工学