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研究キーワード:大阪公立大学における「圧電性」 に関係する研究一覧:1件
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発表日:2026年3月17日
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半導体基板上で非鉛圧電体の性能向上を実証
~汎用成膜法で多数の条件を同時に評価し実現~
圧電材料は力を加えると電気が生じ、電気を加えると形が変わる性質を持つ材料で、圧力センサーやイヤホンなどに広く用いられています。鉛を使用しない圧電材料として注目されるビスマス鉄酸化物(BiFeO3、BFO)※1は、圧縮の力により圧電性能が向上することが報告されていましたが、この効果は実用的な半導体基板上では適用が難しいと考えられていました。本研究グループは、引張ひずみ※2を積極的に利用するという発想により、半導体基板上でもBFOの構造相転移※3...
キーワード:ウェアラブル/ウェアラブルデバイス/モノのインターネット(IoT)/最適化/結晶格子/パルス/ビスマス/物質科学/ジルコン/広帯域/高周波/相転移/多結晶/圧電性/シリコンウエハ/融点/スパッタ法/圧力センサー/電子デバイス/誘電率/機械的特性/持続可能/加速度センサー/材料特性/持続可能な開発/半導体産業/エピタキシャル/エピタキシャル薄膜/チタン/圧電材料/圧電体/機械的性質/構造相転移/単結晶/電池/MEMS/PZT/シリコン/スマートセンサー/センサー/ひずみ/環境負荷/酸化物/熱膨張/半導体/力センサー/結晶構造/微小環境/寿命/スマートフォン
他の関係分野:情報学数物系科学化学工学農学
大阪公立大学 研究シーズ