名古屋大学 研究シーズ|
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研究キーワード：名古屋大学における「表面構造」 に関係する研究一覧：3件
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発表日：2026年5月27日
1
AIで自然界を超す新たな微細構造の生成に成功
「ありうる」植物の表面構造を生成、撥水性など新素材の創造へ
・限られた現生生物のみを手本とする従来の生物模倣技術注1)と異なり、「ありうる」植物種の微細構造を生成する手法を提案した。・より優れた機能構造を生成するために、現生種にはない新しい特徴を持つ「ありうる」植物種の葉表面の微細構造を生成した。・「ありうる」植物種の生成には、現生種データよりも多様な新規構造を生成する必要があり、学習データには現生種データに加え性質の異なるチューリング・パターンを加えた。・異なる性質を持つ二つのデータ群から、安定して学習・生成する新たな生成アプローチを開発し、現生植物にはない特徴を持つ「ありうる」植物の微細構造...
キーワード：確率モデル/生成モデル/アルゴリズム/ニューラルネットワーク/人工知能（AI）/反応拡散/ノイズ/パターン形成/逆問題/太陽/太陽光/生物模倣/ニューラルネット/微細構造/表面構造
他の関係分野：情報学数物系科学総合理工工学農学
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発表日：2025年8月20日
2
世界初成功！ハロゲンフリーのプラズマプロセスで 次世代半導体材料を原子レベルで微細に加工・制御
・ハロゲンフリープラズマ注１）を用いた原子層エッチング（ALE）注2）を開発した。・最先端半導体デバイスに用いられ、難エッチング材料である酸化ハフニウム(HfO₂)の異方性原子層エッチング注3）を室温で実現した。・SDGs（持続可能な開発目標）に向け、次世代半導体デバイスの実用化を支えるプラズマエッチング技術注4）の推進が期待される。 名古屋大学低温プラズマ科学研究センターの蕭 世男(シャオ シーナン)特任教授 、堀 勝 特任教授らの研究グ...
キーワード：高エネルギー/ハロゲン/異方性/高周波/プラズマプロセス/反応機構/エッチング/原子層/プラズマエッチング/ゲート絶縁膜/トランジスタ/メモリ/半導体デバイス/半導体材料/微細化/誘電体/持続可能/持続可能な開発/強誘電体/酸化ハフニウム/スパッタリング/フッ素/機能性材料/持続可能性/半導体/微細加工/微細加工技術/機能性/表面構造/ラジカル
他の関係分野：数物系科学化学総合理工工学総合生物農学
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発表日：2025年3月19日
3
排気ガスを吸着/分解する金属微粒子表面の動きをとらえた！
触媒によるNOｘ（窒素酸化物）の浄化過程をミクロで可視化・解明
・自動車排気ガスの中でも浄化が難しいNOxに注目し、NOガス中でのロジウム（Rh）ナノ粒子の触媒反応中の構造変化を実時間・原子レベルで記録、質量分析によってそこで実際に分解／生成されているガス量の時間変化を同時に検出するオペランド計測注1）を行った。・NO分子の吸着、分解に伴うナノ微粒子の一連の表面構造変化を原子レベルで解明、低温側と高温側で触媒反応機構が異なるモードにスイッチすることを初めて示した。 ◆詳細（プレスリリース本文）は...
キーワード：産学連携/化学物質/結晶格子/データ収集/閉じ込め/イオン化/イオン源/質量分析装置/超高圧/分光学/スペクトル/検出器/分光器/ロジウム/酸化還元反応/触媒反応/反応機構/質量分析/原子分解能/走査透過型電子顕微鏡/電子エネルギー損失分光/触媒設計/NOx/オペランド計測/ナノ微粒子/金属微粒子/絶縁体/選択性/還元反応/反応速度/EELS/活性化エネルギー/電子構造/ジルコニア/データ処理/ナノ粒子/格子欠陥/酸化還元/酸化物/自動車/質量分析計/装置開発/窒素酸化物/電子ビーム/電子顕微鏡/電子顕微鏡観察/微粒子/分解能/表面構造/SPECT/構造変化/酸化反応
他の関係分野：複合領域環境学数物系科学化学総合理工工学農学