東京農工大学 研究シーズ|
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研究キーワード：東京農工大学における「高効率化」 に関係する研究一覧：1件
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発表日：2025年5月20日
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β型酸化ガリウム結晶の高精度n型ドーピング技術を独自の有機金属気相成長法で実現
~次世代パワーデバイス量産に向けた基盤技術を確立~
東京農工大学 大学院工学研究院応用化学部門の熊谷義直教授らのグループは、大陽日酸株式会社の吉永純也氏ら、奈良女子大学の佐々木捷悟助教、工学院大学の尾沼猛儀教授、大阪公立大学／情報通信研究機構 (NICT(エヌアイシーティー)) の東脇正高教授／室長、および大陽日酸ATI株式会社の伴雄三郎博士らと共同で、独自の減圧ホットウォール有機金属気相成長（MOVPE）法注1を用い、高精度にn型キャリア密度注2を制御したβ型酸化ガリウム（β-Ga2O3）結晶注3の高速成長技術を開発しました。β-G...
キーワード：電力制御/プロファイル/情報通信/金属元素/輸送特性/ケイ素/有機金属化合物/有機金属/GaN/MOVPE/エピタキシャル成長/キャリア/キャリア輸送/トランジスタ/パワーデバイス/バンドギャップ/フォノン/高電圧/酸化物半導体/窒化ガリウム/窒化物半導体/電力変換/発光素子/半導体デバイス/半導体材料/力制御/省エネ/エピタキシャル/ドーピング/単結晶/窒化物/SiC/シリコン/移動度/結晶成長/高効率化/酸化物/省エネルギー/性能評価/半導体/ICT
他の関係分野：情報学複合領域環境学数物系科学化学総合理工工学