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研究キーワード:東京農工大学における「マイクロシステム」 に関係する研究一覧:1件
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発表日:2025年7月16日
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室温で高速・高感度な広帯域テラヘルツセンサの開発に成功
~シリコン素材による、低コストでCMOS互換な次世代テラヘルツセンシング技術~
国立大学法人東京農工大学大学院工学研究院先端電気電子部門の張亜准教授、平川一彦客員教授、工学府電子情報工学専攻博士前期課程の江端一貴氏、飯森未来氏、竹内遼太郎氏、博士後期課程の劉千氏、趙子豪氏、中国科学院上海マイクロシステム情報技術研究所の黎華教授、兵庫県立大学の前中一介教授らの共同研究チームは、シリコン素材を用いて室温動作可能であり高速・高感度で広帯域検出可能なテラヘルツMEMSボロメータの開発に成功しました。本成果により、低コストで大量生産が可能で、CMOS回路との集積も容易な次世代テラヘルツイメージングや分光技術の実用化が大きく前進すると期待されます。本研究成果は、M...
キーワード:ベンチマーク/情報システム/ノイズ/広帯域/スペクトル/テラヘルツ/ボロメータ/近赤外/検出器/分光器/マイクロシステム/バナジウム/CMOS/SOI/共振器/絶縁体/誘電率/計測技術/MEMS/システム工学/シリコン/センシング/ナノスケール/マイクロ/共振周波数/極低温/周波数/電磁波/熱膨張/非破壊検査
他の関係分野:情報学数物系科学工学
東京農工大学 研究シーズ