東京大学 研究シーズ|
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研究キーワード：東京大学における「熱膨張」 に関係する研究一覧：1件
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発表日：2025年6月2日
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次世代半導体ガラス基板への微細レーザー加工を実現
図1：EN-A1にあけた微細穴を上からと横から見た顕微鏡写真EN-A1ガラスに対し、深紫外レーザーを照射することで直径10マイクロメートル以下の穴を25マイクロメートル間隔であけました...
キーワード：アスペクト/人工知能（AI）/パルス/高周波/エッチング/パルスレーザー/樹脂/超短パルス/微細化/紫外線/半導体産業/シリコン/ひび割れ/マイクロ/レーザー/レーザー加工/環境負荷/電子顕微鏡/熱膨張/半導体/超短パルスレーザー/パフォーマンス/ラット
他の関係分野：情報学数物系科学総合理工工学総合生物