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研究キーワード:東京大学における「ドライエッチング」 に関係する研究一覧:2件
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発表日:2025年12月6日
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【共同発表】レーザで描くフォノニックナノ構造による半導体サーマルマネジメント
-ナノ構造を高速・低環境負荷で作製、実用化の加速に期待-(発表主体:東京科学大学)
東京科学大学(Science Tokyo) 工学院 機械系の半間大基大学院生、キム・ビョンギ助教、伏信一慶教授と東京大学 生産技術研究所の野村政宏教授らの研究チームは、熱輸送を制御することができるフォノニックナノ構造(用語1)を、その特性を維持しつつ、約1,000倍以上高速に作成できる手法を提案しました。 熱伝導を担う量子であるフォノン(用語2)の平均自由行程(用語3)よりも小さな周期をもつ構造を用いることで、熱伝導を制御できることが知られています。このような構造をフォノニックナノ構造といいます。従来は電子ビームリソグラフィ(用語4)などの手法が広く用いられていますが、加工速度が低...
キーワード:スループット/コンピューティング/最適化/パルス/モンテカルロシミュレーション/自己組織/エッチング/フォノンエンジニアリング/フォノン輸送/加工速度/生産技術/熱電変換材料/ドライエッチング/フォノン/酸化膜/量子デバイス/省エネ/ボトルネック/マネジメント/熱電変換/MEMS/イオンビーム/シミュレーション/シリコン/センシング/ナノメートル/ナノ加工/ナノ構造/フェムト秒/環境負荷/極低温/省エネルギー/電子ビーム/電子顕微鏡/熱工学/熱伝導/熱伝導率/熱輸送/半導体/微細加工/表面粗さ/エネルギー変換/表面構造/SPECT/スマートフォン
他の関係分野:情報学数物系科学化学総合理工工学農学
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発表日:2025年1月6日
2
半導体露光プロセスのみで平面レンズを作製する手法を開発
——可視光平面レンズの大量生産を可能に——
東京大学大学院理学系研究科の小西邦昭准教授、山田涼平特任研究員(当時)らと、JSR株式会社の岸田寛之氏らによる研究グループは、半導体露光プロセスのみを用いて平面レンズを大量生産することが可能な手法を開発することに成功しました。光学レンズは長らく研磨技術で作製されてきましたが、近年、光の波長と同程度以下の大きさのサブミクロン構造を用いてレンズの機能を実現するメタレンズ...
キーワード:プロファイル/情報学/産学連携/パターン形成/数値計算/エッチング/ドライエッチング/トランジスタ/リソグラフィー/レンズ/可視光/微細化/紫外線/半導体産業/シミュレーション/スピン/センサー/光学素子/電子顕微鏡/電磁波/半導体/微細加工/微細構造/分解能/微細加工技術/干渉効果/ラット/スマートフォン
他の関係分野:情報学複合領域数物系科学総合理工工学総合生物農学
東京大学 研究シーズ