東京大学 研究シーズ|
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研究キーワード：東京大学における「ドライエッチング」 に関係する研究一覧：2件
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発表日：2025年12月6日
この記事は2025年12月20日号以降に掲載されます。
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【共同発表】レーザで描くフォノニックナノ構造による半導体サーマルマネジメント
－ナノ構造を高速・低環境負荷で作製、実用化の加速に期待－（発表主体：東京科学大学）
この記事は2025年12月20日号以降に掲載されます。
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発表日：2025年1月6日
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半導体露光プロセスのみで平面レンズを作製する手法を開発
——可視光平面レンズの大量生産を可能に——
東京大学大学院理学系研究科の小西邦昭准教授、山田涼平特任研究員（当時）らと、JSR株式会社の岸田寛之氏らによる研究グループは、半導体露光プロセスのみを用いて平面レンズを大量生産することが可能な手法を開発することに成功しました。光学レンズは長らく研磨技術で作製されてきましたが、近年、光の波長と同程度以下の大きさのサブミクロン構造を用いてレンズの機能を実現するメタレンズ...
キーワード：プロファイル/情報学/産学連携/パターン形成/数値計算/エッチング/ドライエッチング/トランジスタ/リソグラフィー/レンズ/可視光/微細化/紫外線/半導体産業/シミュレーション/スピン/センサー/光学素子/電子顕微鏡/電磁波/半導体/微細加工/微細構造/分解能/微細加工技術/干渉効果/ラット/スマートフォン
他の関係分野：情報学複合領域数物系科学総合理工工学総合生物農学