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東京大学 研究シーズDiscovery Saga
研究キーワード:東京大学における「フォノン輸送」 に関係する研究一覧:1
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発表日:2025年12月6日
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【共同発表】レーザで描くフォノニックナノ構造による半導体サーマルマネジメント
-ナノ構造を高速・低環境負荷で作製、実用化の加速に期待-(発表主体:東京科学大学)
東京科学大学(Science Tokyo) 工学院 機械系の半間大基大学院生、キム・ビョンギ助教、伏信一慶教授と東京大学 生産技術研究所の野村政宏教授らの研究チームは、熱輸送を制御することができるフォノニックナノ構造(用語1)を、その特性を維持しつつ、約1,000倍以上高速に作成できる手法を提案しました。 熱伝導を担う量子であるフォノン(用語2)の平均自由行程(用語3)よりも小さな周期をもつ構造を用いることで、熱伝導を制御できることが知られています。このような構造をフォノニックナノ構造といいます。従来は電子ビームリソグラフィ(用語4)などの手法が広く用いられていますが、加工速度が低...
キーワード:スループット/コンピューティング/最適化/パルス/モンテカルロシミュレーション/自己組織/エッチング/フォノンエンジニアリング/フォノン輸送/加工速度/生産技術/熱電変換材料/ドライエッチング/フォノン/酸化膜/量子デバイス/省エネ/ボトルネック/マネジメント/熱電変換/MEMS/イオンビーム/シミュレーション/シリコン/センシング/ナノメートル/ナノ加工/ナノ構造/フェムト秒/環境負荷/極低温/省エネルギー/電子ビーム/電子顕微鏡/熱工学/熱伝導/熱伝導率/熱輸送/半導体/微細加工/表面粗さ/エネルギー変換/表面構造/SPECT/スマートフォン
他の関係分野:情報学数物系科学化学総合理工工学農学