東北大学 研究シーズ|
検索したキーワードがページ内でハイライトします。
| RESET |
研究キーワード：東北大学における「エッチング」 に関係する研究一覧：1件
概要表示
折りたたむ
発表日：2026年7月9日
1
高アスペクト比エッチングホールの非破壊三次元観察を実現
―次世代3D NANDフラッシュメモリ開発に貢献する構造評価技術―
近年、生成AIやクラウドサービスの普及に伴い、大容量データを保存するための3D NANDフラッシュメモリの高性能化が進んでいます。3D NANDでは、数百層に積層された薄膜構造に高アスペクト比エッチングホールを形成する必要がありますが、その内部構造を非破壊で三次元評価することは容易ではありません。東北大学大学院工学研究科の大川成大学院生、国際放射光イノベーション・スマート研究センター（SRIS）の高橋幸生教授らの研究グループは、3 GeV高輝度放射光施設「NanoTerasu」のビームラインBL10Uで得られる高輝度テンダーX線（注４）...
キーワード：アスペクト/クラウド/人工知能（AI）/コヒーレント/物質科学/X線回折/内部構造/軟X線/放射光/エッチング/メモリ/位相回復/半導体デバイス/持続可能/計測技術/持続可能な開発/不揮発性メモリ/半導体/分解能/膜構造/空間分解能/computed tomography/スマートフォン/プロセス評価
他の関係分野：情報学数物系科学総合理工工学