次世代2µm固体レーザー向け高効率EUV光発生法を実証

－EUV光源の発生効率を40%向上－

2026.8.25

概要

本学工学部基盤工学科の東口武史教授、理化学研究所（理研）光量子工学研究センター未踏レーザー科学研究チームの高橋栄治チームディレクターらの国際共同研究グループは、先端半導体を製造する露光装置の駆動レーザーとして期待される、波長2マイクロメートル（µm、1µmは100万分の1メートル）の固体レーザー（2µm固体レーザー）を用いた極端紫外（EUV）光発生において、マルチレーザー照射法が有効であることを初めて実証しました。
 本研究成果は、EUV露光装置で必要とされる駆動レーザーエネルギーの低減や省電力化につながると期待されます。

 現在のEUV露光装置では波長10.6µm炭酸ガスレーザーが用いられていますが、その消費電力の大きさが課題となっており、電力効率に優れた2µm固体レーザーへの置き換えが世界中で検討されています。一方2µm固体レーザーは、EUV 露光装置が必要とするレーザー出力にはいまだ達しておらず、レーザーエネルギーを低減しながら高いEUV光変換効率を実現する技術が求められていました。今回、国際共同研究グループは、2µm固体レーザーを用いたEUV光発生にマルチレーザー照射法を適用し、EUV光変換効率を2.6％から3.6％へ、約40％向上させることに成功しました。本成果により、1本当たりのレーザーエネルギーを低減させつつ、複数のレーザーを同時にEUV光発生に使用することで高いEUV光変換効率を維持できることを実証しました。これは、比較的低出力の2µm 固体レーザーを複数台組み合わせて高効率なEUV光発生を実現できる可能性を示すものであり、EUV 露光装置の省電力化の実現を後押しする成果です。

 本研究は、科学雑誌『Optics Letters』（8月24日付）に掲載されました。




マルチレーザー照射法の概念図
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プレスリリース

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関連リンク

研究者総覧　東口 武史　教授
工学部基盤工学科