産業技術総合研究所 研究世界最高精度で曲面ミラーの形状を測る装置を開発
－EUV露光装置などに用いられる光学素子形状を、2ナノメートル精度で非接触測定－
【産学連携対象 全学共通分野 Discovery Saga】
【Sagaキーワード】
発表・掲載日：2026/07/06
ポイント
曲面ミラーの局所角度分布を測定することで、2ナノメートル精度で絶対形状を非接触測定誤差を自ら補正する高精度な角度測定技術（SelfA）により、広範囲かつ高精度に局所角度を測定
EUV露光装置や放射光施設などで用いられる超高精度光学素子の製造・開発・評価に貢献