世界初の「流体力学式液中粒子計数器 PT-01F」を発売

－流れ場における粒子の物性推定手法を製品化－

発表・掲載日：2026/04/03

概要

リオン株式会社（本社：東京都国分寺市、代表取締役社長：加藤公規、以下「リオン」）は、国立研究開発法人産業技術総合研究所（理事長：石村和彦、以下「産総研」）、キオクシア株式会社（社長執行役員：太田裕雄、以下「キオクシア」）と共同で開発した流れ場粒子追跡法（Flow Particle Tracking：FPT、以下「FPT法」）を用いた「流れ場中における粒子の物性推定手法」を基に、世界初^※1となる「流体力学式液中粒子計数器 PT-01F」を2026年4月10日に発売します。本製品は、これまでリオンが蓄積してきた光散乱技術を基盤とし、新たに開発したFPT法を用いることで、流れ場中での微細粒子の大きさ、個数、屈折率の計測を実現します。光散乱相当径による粒子個数濃度分布を測定する従来の光散乱式液中パーティクルカウンタ（以下「LPC」）を進化させた新しいコンセプトの微粒子計測装置です。
本製品は粒子のブラウン運動を追跡、解析し、拡散係数から幾何学的寸法に近い粒子径を算出すると同時に、同一粒子の散乱光強度を用いて屈折率を推定することで、粒子の物性推定をサポートします。これにより、先端の半導体製造工程における超純水、薬液の品質管理や、歩留まり低下の原因究明に寄与します。
※1 流れ場における粒子の物性推定を可能とする製品として（2026年3月末現在/リオン調べ）

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