産業技術総合研究所 研究最先端構造トランジスタを試作可能な共用プロセスを独自開発
－300 mmウエハーの共用パイロットラインで新規装置・材料の技術検証が可能に－
【注目の成果：共同研究・産学連携のためのチェックポイント】
 | 共用可能なプロセスで、最先端ロジック半導体で使用されるゲートオールアラウンド（GAA）構造 トランジスタの試作が可能に |
【産学連携対象 全学共通分野 Discovery Saga】
【Sagaキーワード】
発表・掲載日：2025/11/05
ポイント
独自技術で構成された、最先端半導体製造装置を有する共用パイロットラインを国内で初めて構築共用可能なプロセスで、最先端ロジック半導体で使用されるゲートオールアラウンド（GAA）構造 トランジスタの試作が可能に
共用パイロットラインを国内の企業・大学などに提供し、最先端の技術開発を支援