「半導体」に関するサイレントキーワード「ナノテクノロジー」が含まれる科研費採択研究3件

【研究名】揺らぎを排した量子スケールMOSFETにおける物理現象の探究と集積化応用の研究
【研究代表者】平本 俊郎  東京大学   生産技術研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020192718/	
【研究名】光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発
【研究代表者】三好 隆志  大阪大学   大学院・工学研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000002048/	 
【研究分担者】
木村 景一  大阪大学  大学院・工学研究科  客員助教授
高谷 裕浩  大阪大学  大学院・工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070243178/	
高橋 哲  大阪大学  大学院・工学研究科  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030283724/	
島田 尚一  大阪大学  大学院・工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020029317/	

【研究名】シングルイオン注入法による半導体電気的特性ゆらぎ抑制に関する研究
【研究代表者】大泊 巌  早稲田大学   理工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030063720/	 
【研究分担者】
豊島 義明  株式会社東芝セミコンダクター社  マイクロエレクトロニクス研究所  主査
品田 賢宏  早稲田大学  理工学部・日本学術振興会  特別研究員  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030329099/