「薄膜」に関するサイレントキーワード「スパッタリング」が含まれる科研費採択研究5件

【研究名】セラミック薄膜における相化学的特異現象の解明とその誘起物性への応用
【研究代表者】水谷 惟恭  東京工業大学   大学院・理工学研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060016558/	 
【研究分担者】
篠崎 和夫  東京工業大学  大学院・理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000196388/	
脇谷 尚樹  東京工業大学  大学院・理工学研究科  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040251623/	
木口 賢紀  東京工業大学  総合分析支援センター  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070311660/	

【研究名】バリスタやPTCR特性セラミックス薄膜の成膜技術の確立と特性発現メカニズムの解明
【研究代表者】水谷 惟恭 (水谷 惟泰)  東京工業大学   大学院・理工学研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060016558/	 
【研究分担者】
脇谷 尚樹  東京工業大学  大学院・理工学研究科  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040251623/	
篠崎 和夫  東京工業大学  大学院・理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000196388/	
舟窪 浩  東京工業大学  大学院・総合理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090219080/	

【研究名】磁気歪み効果もつ薄膜材料を利用したマイクロマシンシステムの基礎研究
【研究代表者】平本 俊郎  東京大学   大規模集積システム設計教育研究センター   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020192718/	
【研究名】スパッタリング法による薄膜電解質燃料電池の作製
【研究代表者】石田 愈  東京工業大学   資源化学研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010016735/	 
【研究分担者】
黒田 千秋  東京工業大学資源化学研究所  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080114867/	

【研究名】MOS型IC材料の化学反応と拡散に関する研究
【研究代表者】後藤 和弘  東京工業大学   工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070016260/	 
【研究分担者】
須佐 匡裕  東京工業大学  工学部  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090187691/	
永田 和宏  東京工業大学  工学部  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070114882/