「超臨界流体」に関するサイレントキーワード「MEMS」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】ULSI／MEMS対応マルチスケール薄膜堆積技術の構築
【研究代表者】百瀬 健  東京大学   工学(系)研究科(研究院)   助教 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010611163/