「超音波」に関するサイレントキーワード「MEMS」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】サファイアガラスを伝搬路とする弾性表面波モータ
【研究代表者】黒澤 実  東京工業大学   工学院   准教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070170090/	
【研究名】高効率で高出力な弾性表面波アクチュエータの実現に関する研究
【研究代表者】黒澤 実  東京工業大学   大学院総合理工学研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070170090/