「超音波」に関するサイレントキーワード「圧電基板」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究 【研究代表者】樋口 俊郎 東京大学 工学系研究科 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010111569/ 【研究分担者】 高橋 歩 住友金属工業株式会社 商品開発部 副参事 黒澤 実 東京大学 工学系研究科 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070170090/