「超音波」に関するサイレントキーワード「マイクロモーター」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】サファイアガラスを伝搬路とする弾性表面波モータ 【研究代表者】黒澤 実 東京工業大学 工学院 准教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070170090/