「半導体」に関するサイレントキーワード「近接場光」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】赤外エバネッセント光による次世代半導体ウエハ機能薄膜のナノ欠陥計測法に関する研究
【研究代表者】高橋 哲  東京大学   大学院工学系研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030283724/