「超臨界流体」に関するサイレントキーワード「銅」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】3次元実装における極微細縦方向配線のシングルステップ形成
【研究代表者】百瀬 健  東京大学   工学(系)研究科(研究院)   講師 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010611163/