「薄膜」に関するサイレントキーワード「シリコンVLSIプロセス」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】磁気歪み効果もつ薄膜材料を利用したマイクロマシンシステムの基礎研究
【研究代表者】平本 俊郎  東京大学   大規模集積システム設計教育研究センター   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020192718/