「酸素センサー」に関するサイレントキーワード「反応性イオンエッチング」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】応力制御成膜技術による低温動作酸化物イオン導電体の開発
【研究代表者】篠崎 和夫  東京工業大学   大学院・理工学研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000196388/	 
【研究分担者】
田中 順三  東京工業大学  大学院・理工学研究科  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010343831/	
脇谷 尚樹  静岡大学  工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040251623/	
鈴木 久男  静岡大学  創造科学技術大学院  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070154573/	
【研究連携者】     
脇谷 尚樹  静岡大学  工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040251623/	
鈴木 久男  静岡大学  創造科学技術大学院  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070154573/	
【研究協力者】
木口 賢紀  東北大学  金属材料研究所  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070311660/	
原 亨  東京工業大学  大学院・理工学研究科・社会人博士課程