「エピタキシャル成長」に関するサイレントキーワード「スパッタ法」が含まれる科研費採択研究3件

【研究名】弗化物/酸化物ハイブリッド単結晶ヘテロナノ構造の創製とフォトニクス素子への応用
【研究代表者】渡辺 正裕  東京工業大学   大学院・総合理工学研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000251637/	
【研究名】単結晶絶縁体中に形成したナノ微結晶ヘテロ構造を用いたシリコン基板上発光素子の研究
【研究代表者】渡辺 正裕  東京工業大学   大学院・総合理工学研究科・物理情報システム創造専攻   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000251637/	
【研究名】光集積回路用磁性ガ-ネット薄膜の半導体基板上へのエピタキシャル成長
【研究代表者】五味 学  東京工業大学   工学部   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080126276/	 
【研究分担者】
阿部 正紀  東京工業大学  工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070016624/