「圧力センサー」に関するサイレントキーワード「ダイアフラム」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】スクリーン印刷法を用いた高感度半導体圧力センサの開発
【研究代表者】石原 宏  東京工業大学   精密工学研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060016657/	 
【研究分担者】
岩田 吉徳  株)オーバル  研究2課  研究員
會澤 康治 (曾澤 康治)  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040222450/